作为国内几乎是唯一的光刻机整机厂商,上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE,下称“上海微电子”)IPO有了新动态。图:上海微电子公司官网光刻机产品系列在前道光刻技术方面,上海微电子目前已可量产90nm的光刻机。