近期,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。对此,中国电子工程设计院有限公司(下称中国电子院)9月18日发声,称该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。北京高能同步辐射光源项目实拍图目前高能同步辐射光源配套工程已全面完工。
高能同步辐射光源增强器成功升能加速这是HEPS加速器建设的又一重要里程碑。经过现场测试,专家一致认为,增强器各项关键指标全部优于设计指标,总体性能达到同类装置国际先进水平。增强器成功升能加速表明,增强器已为给储存环提供高质量电子束、增强器多模式运行等做好准备。